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記者從中國科學(xué)院獲悉,近日,中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所納米真空互聯(lián)實驗站二期建設(shè)項目順利通過總驗收。
納米真空互聯(lián)實驗站是中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所(簡稱:中科院蘇州納米所)建設(shè)的,集材料生長、器件加工、測試分析為一體的材料領(lǐng)域重大綜合科研裝置。真空互聯(lián)實驗站面向國家戰(zhàn)略需求和科學(xué)前沿重大問題,開創(chuàng)一條變革性的技術(shù)路線,將材料生長、器件工藝、測試分析通過超高真空管道有機(jī)互聯(lián)在一起,突破常規(guī)超潔凈環(huán)境下,獨立分散設(shè)備難以突破的材料本征特性、原子級精準(zhǔn)調(diào)控、表/界面調(diào)控和異質(zhì)集成、器件原位制造等局限,為國家戰(zhàn)略材料和前沿材料領(lǐng)域研究提供重要建制化、體系化綜合科研裝置的支撐。
中科院蘇州納米所納米真空互聯(lián)實驗站由中國科學(xué)院、江蘇省、蘇州市以及蘇州工業(yè)園區(qū)共同投資建設(shè)。自2014年4月開始,通過兩期建設(shè),目前近40臺各種大型工藝設(shè)備通過203米長的超高真空管道互聯(lián),已建成材料制備與工藝、微觀機(jī)理準(zhǔn)原位分析、跨尺度性能測試、氣氛可控和真空互聯(lián)控制與對接系統(tǒng)等五大模塊平臺。近日,來自中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、中科院化學(xué)研究所、中科院蘇州醫(yī)工所等單位的專家組成驗收專家組,對二期建設(shè)項目進(jìn)行了現(xiàn)場鑒定,并一致同意通過驗收。
自2019年試運行起,至2022年底,實驗站累計已開展合作課題651個,服務(wù)用戶數(shù)量220多家,逐步建立了以蘇州工業(yè)園區(qū)為中心,立足江蘇省,輻射長三角地區(qū),延伸海內(nèi)外的用戶科研服務(wù)體系。
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